[22p-B202-1~16] 1.6 Ultrasonics

4:30 PM - 4:45 PM JST(7:30 AM - 7:45 AM UTC)Presentation by Applicant for JSAP Young Scientists Presentation Award

[22p-B202-12] Analysis of propagation properties of longitudinal leaky SAW on LiNbO₃/SiC structure

〇Ryo Takei¹, Masashi Suzuki¹, Shoji Kakio¹, Yasushi Yamamoto² (1.Univ. of Yamanashi, 2.Yamamoto-ADEC LLC.)

Keywords:

SAW,dissimilar material bonding

本報では，h/λが0.20以下のX36°Y-LN/4H-SiC上のLLSAW伝搬特性，共振特性を解析した．h/λ=0.161で小さな伝搬減衰を示し，その結果を踏まえ有限要素法(FEM)により共振特性を解析した結果，規格化Al膜厚h_Al/λ=0.03，h/λ=0.19において7,200~7800 m/sの範囲でLLSAWの応答を示し，7.6 %の比帯域幅，112 dBのアドミタンス比，30,000以上の高いQ_rを示した．