[22p-B202-1~16] 1.6 超音波

16:30 〜 16:45奨励賞エントリー

[22p-B202-12] LiNbO₃/SiC構造上の縦型漏洩弾性表面波伝搬特性の解析

〇武居 諒¹、鈴木 雅視¹、垣尾 省司¹、山本 泰司² (1.山梨大、2.山本エイデック)

キーワード：

弾性表面波,異種材料接合

本報では，h/λが0.20以下のX36°Y-LN/4H-SiC上のLLSAW伝搬特性，共振特性を解析した．h/λ=0.161で小さな伝搬減衰を示し，その結果を踏まえ有限要素法(FEM)により共振特性を解析した結果，規格化Al膜厚h_Al/λ=0.03，h/λ=0.19において7,200~7800 m/sの範囲でLLSAWの応答を示し，7.6 %の比帯域幅，112 dBのアドミタンス比，30,000以上の高いQ_rを示した．