[22p-B202-1~16] 1.6 Ultrasonics

4:45 PM - 5:00 PM JST(7:45 AM - 8:00 AM UTC)Presentation by Applicant for JSAP Young Scientists Presentation Award

[22p-B202-13] Resonance Analysis of Longitudinal Leaky SAW Third Harmonic on Bonded LiNbO₃/Quartz Structure

〇(M2)Hibiki Morita¹, Masashi Suzuki¹, Shoji Kakio¹, Jun Mizuno² (1.Univ. Yamanashi, 2.Waseda Univ.)

Keywords:

SAW,dissimilar material bonding,third harmonics

当研究グループでは，LiTaO₃(LT)/水晶(Qz)接合構造によるリーキーSAW(LSAW)三次高調波の強勢励振を実験的に明らかにした．本報告では，LiNbO₃(LN)/Qz構造上，LSAWより位相速度が速く，高周波動作が期待できる縦型LSAW(LLSAW)の三次高調波の共振特性と周波数温度係数(TCF)を有限要素法(FEM)により解析した結果を報告する．三次高調波の最適条件において6.5 GHzという高い周波数でLN単体よりも大きく急峻な応答が得られることを理論的に明らかにした．