講演情報
[22p-B202-13]LiNbO3/水晶接合構造上の縦型リーキーSAW三次高調波の共振解析
〇(M2)森田 響生1、鈴木 雅視1、垣尾 省司1、水野 潤2 (1.山梨大、2.早稲田大)
キーワード：
弾性表面波,異種材料接合,三次高調波
当研究グループでは，LiTaO3(LT)/水晶(Qz)接合構造によるリーキーSAW(LSAW)三次高調波の強勢励振を実験的に明らかにした．本報告では，LiNbO3(LN)/Qz構造上，LSAWより位相速度が速く，高周波動作が期待できる縦型LSAW(LLSAW)の三次高調波の共振特性と周波数温度係数(TCF)を有限要素法(FEM)により解析した結果を報告する．三次高調波の最適条件において6.5 GHzという高い周波数でLN単体よりも大きく急峻な応答が得られることを理論的に明らかにした．