[22p-B202-1~16] 1.6 Ultrasonics

5:30 PM - 5:45 PM JST(8:30 AM - 8:45 AM UTC)Presentation by Applicant for JSAP Young Scientists Presentation Award

[22p-B202-16] Suppression of Spurious Propagation Modes on Love Wave-Type SAWs by Divided Piezoelectric Substrates

〇(M2)Naoto Hara¹, Masashi Suzuki¹, Shoji Kakio¹, Yasushi Yamamoto² (1.Univ. of Yamanashi, 2.Yamamoto-ADEC LLC.)

Keywords:

SAW devices,structure of divided piezoelectric substrate

ラブ波型弾性表面波(SAW)は大きな電気機械結合係数K²を有しているが，レイリー型SAW(R-SAW)も励振されスプリアス応答となるため，電極膜厚やオイラー角に制約がある．本報告では，R-SAW不要応答の抑圧方法として圧電基板をオイラー角の異なる薄板と支持基板に分割，接合させた構造を提案し，有限要素法により解析した結果を報告する．提案構造によってR-SAW不要応答を抑圧できることがわかった．