講演情報

17:30 〜 17:45奨励賞エントリー

[22p-B202-16]ラブ波型弾性表面波における圧電基板分割による不要伝搬モードの抑圧

〇(M2)原尚斗¹、鈴木雅視¹、垣尾省司¹、山本泰司² (1.山梨大、2.山本エイデック)

キーワード：

弾性表面波デバイス,圧電基板分割構造

ラブ波型弾性表面波(SAW)は大きな電気機械結合係数K²を有しているが，レイリー型SAW(R-SAW)も励振されスプリアス応答となるため，電極膜厚やオイラー角に制約がある．本報告では，R-SAW不要応答の抑圧方法として圧電基板をオイラー角の異なる薄板と支持基板に分割，接合させた構造を提案し，有限要素法により解析した結果を報告する．提案構造によってR-SAW不要応答を抑圧できることがわかった．

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