[22p-D902-1~11] 12.7 Biomedical Engineering and Biochips

2:00 PM - 2:15 PM JST(5:00 AM - 5:15 AM UTC)Presentation by Applicant for JSAP Young Scientists Presentation Award

[22p-D902-3] Integration of Single-Layer Graphene onto CMOS-based electrochemical sensor

〇Motoki Mitsuishi¹, Yasufumi Yokoshiki¹, Takashi Tokuda¹, Junichiro Suzuki², Masato Sugawara², Takeshi Watanabe², Shinji Koh² (1.Tokyo Inst., 2.Aoyama Gakuin Univ.)

Keywords:

CMOS,graphene,integration

グラフェンは液体や気体分子が表面吸着した際に内部の電子状態が鋭敏に変調されるため、分子レベルの高感度化学センサへの応用が期待される。またその際にグラフェンに各種分子選択性吸着種による化学修飾を行うことで特定の分子のみ検出することが可能である。本研究ではCMOS集積回路上への単層グラフェンの集積化について性能評価用CMOSチップを設計・試作し、実験的検討を行ったので報告する。