講演情報
[22p-D902-3]CMOS電気化学センサへの単層グラフェン集積化
〇光石 幹1、横式 康史1、德田 崇1、鈴木 純一郎2、菅原 大翔2、渡辺 剛志2、黄 晋二2 (1.東京工業大工、2.青山学院大理工)
キーワード：
CMOS,グラフェン,集積化
グラフェンは液体や気体分子が表面吸着した際に内部の電子状態が鋭敏に変調されるため、分子レベルの高感度化学センサへの応用が期待される。またその際にグラフェンに各種分子選択性吸着種による化学修飾を行うことで特定の分子のみ検出することが可能である。本研究ではCMOS集積回路上への単層グラフェンの集積化について性能評価用CMOSチップを設計・試作し、実験的検討を行ったので報告する。