Presentation Information
[22p-P04-1]Development of automated fabrication system for surface-enhanced Raman scattering device
〇(M1)Yousuke Kasai1, Ryota Negishi1 (1.Toyo Univ.)
Keywords:
Surface-Enhanced Raman Scattering device
表面増強ラマン散乱(SERS)素子の開発では、ナノギャップの精密な構造制御が要となる。我々はナノスケールサイズの溝構造を有するナノギャップ構造の形成技術を開拓し、局所SERS効果を報告してきた。しかしながら、ナノギャップの作製は手作業であるため、素子の歩留や品質の安定性に課題がある。そこで本研究では、SERS素子の自動作成装置の開発を進めた。