[22p-P04-1~23] 3.11 ナノ領域光科学･近接場光学（旧3.12）

[22p-P04-1] 表面増強ラマン散乱素子の自動作製システムの開発

〇(M1)笠井 洋輔¹、根岸 良太¹ (1.東洋大理工)

キーワード：

表面増強ラマン散乱素子

表面増強ラマン散乱(SERS)素子の開発では、ナノギャップの精密な構造制御が要となる。我々はナノスケールサイズの溝構造を有するナノギャップ構造の形成技術を開拓し、局所SERS効果を報告してきた。しかしながら、ナノギャップの作製は手作業であるため、素子の歩留や品質の安定性に課題がある。そこで本研究では、SERS素子の自動作成装置の開発を進めた。