Presentation Information
[22p-P04-20]Formation of Gold Particles on Silicon Substrate by Laser Annealing Method
〇Masaki Kumagai1, Hironari Kyuki1, Atsushi Utsumi1 (1.NIT., Maizuru)
Keywords:
Surface Plasmon Filter,Laser Annealing
ショットキー接合型フォトダイオードの受光感度の向上を目的として，表面プラズモンフィルタを開発している．本研究では，ショットキー電極と表面プラズモンフィルタの一体化を進めるため，シリコン基板上に金薄膜を形成し，局所的でかつ短時間で行えるレーザアニールによる金の微粒子化が可能であるか否かを調べた．結果として，シリコン基板で金微粒子の粒径が大きくなり，粒子密度が低減するなど金の微粒子化が確認された．