講演情報
[22p-P04-20]レーザアニール法によるシリコン基板上金薄膜の微粒子化の検討
〇熊谷 昌城1、久木 弘成1、内海 淳志1 (1.舞鶴高専)
キーワード：
表面プラズモンフィルタ,レーザアニール
ショットキー接合型フォトダイオードの受光感度の向上を目的として，表面プラズモンフィルタを開発している．本研究では，ショットキー電極と表面プラズモンフィルタの一体化を進めるため，シリコン基板上に金薄膜を形成し，局所的でかつ短時間で行えるレーザアニールによる金の微粒子化が可能であるか否かを調べた．結果として，シリコン基板で金微粒子の粒径が大きくなり，粒子密度が低減するなど金の微粒子化が確認された．