[23a-A301-1~9] 8.1 Plasma production and diagnostics

11:00 AM - 11:15 AM JST(2:00 AM - 2:15 AM UTC)Presentation by Applicant for JSAP Young Scientists Presentation Award

[23a-A301-8] Condensation of the Photoemission-assisted Plasma

〇Haruhiro Naito¹, Akito Fukuda¹, Susumu Takabayashi¹ (1.National Institute of Technology, Ariake College)

Keywords:

photoemission-assisted plasma

光電子制御プラズマは、放電開始トリガーの初期電子に光電子を用いていることが特徴である。光電子は基板に深紫外光(172 nm = 7.2 eV)を照射することにより発生させている。放電は紫外光照射部位に限定されて発生するため、放電電圧と電流密度を精密に評価できる。本発表では、その圧力依存性について報告する。