[23a-A301-1~9] 8.1 プラズマ生成・診断

11:00 〜 11:15奨励賞エントリー

[23a-A301-8] 光電子制御プラズマの集光現象

〇内藤 陽大¹、福田 旺土¹、鷹林 将¹ (1.有明高専)

キーワード：

光電子制御プラズマ

光電子制御プラズマは、放電開始トリガーの初期電子に光電子を用いていることが特徴である。光電子は基板に深紫外光(172 nm = 7.2 eV)を照射することにより発生させている。放電は紫外光照射部位に限定されて発生するため、放電電圧と電流密度を精密に評価できる。本発表では、その圧力依存性について報告する。