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[23a-B101-3]Emission wavelength control for LEDs with blue and green active layers separated by Si-doped InGaN layers

〇Koji Okuno1, Koichi Goshonoo1, Masaki Ohya1 (1.Toyoda Gosei)

Keywords:

nitride,microLED,monolithic

我々は、pn接合間に異なる発光波長を放射する活性層を積層させた後、メサ形成とp型層の再成長によるモノリシック型マイクロLEDの実現を目指している。今回、青と緑の活性層を有するLED構造を用いて、発光スペクトルを制御する為に活性層間にSiドープ中間層を導入し、Siドープ量を調整することで緑の活性層のみを選択的に発光させることに成功した。そして、モノリシック型青/緑LEDを実証したことを報告する。