講演情報
[23a-B101-3]SiドープInGaN層で隔てられた青、緑活性層を持つLEDの発光波長制御
〇奥野 浩司1、五所野尾 浩一1、大矢 昌輝1 (1.豊田合成株式会社)
キーワード：
窒化物,マイクロLED,モノリシック
我々は、pn接合間に異なる発光波長を放射する活性層を積層させた後、メサ形成とp型層の再成長によるモノリシック型マイクロLEDの実現を目指している。今回、青と緑の活性層を有するLED構造を用いて、発光スペクトルを制御する為に活性層間にSiドープ中間層を導入し、Siドープ量を調整することで緑の活性層のみを選択的に発光させることに成功した。そして、モノリシック型青／緑LEDを実証したことを報告する。