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11:00 AM - 11:15 AM JST(2:00 AM - 2:15 AM UTC)Presentation by Applicant for JSAP Young Scientists Presentation Award

[23a-B101-8]Fabrication of stacked GaInN-based RGB monolithic μLED arrays

〇Tatsunari Saito¹, Naoki Hasegawa¹, Keigo Imura¹, Yoshinobu Suehiro¹, Motoaki Iwaya¹, Tetsuya Takeuchi¹, Satoshi Kamiyama¹, Daisuke Iida², Kazuhiro Ohkawa² (1.Meijo Univ., 2.KAUST)

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Keywords:

micro LED,monolithic LED

近年 AR/VR 用ディスプレイ開発は活況を呈している．GaInN系材料は,同一材料系でRGBが実現できることやトンネル接合の開発により積層型構造を用いることでモノリシック化や微細化が可能であることが期待される.本報告では,積層型GaInN系材料でRGBモノリシック型μLEDアレイを作製しRGBの発光を得たので報告する.

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