講演情報
[23a-B101-8]積層型GaInN系RGBモノリシック型μLEDアレイの作製
〇齋藤 竜成1、長谷川 直希1、井村 慧悟1、末広 好伸1、岩谷 素顕1、竹内 哲也1、上山 智1、飯田 大輔2、大川 和宏2 (1.名城大学・理工、2.KAUST)
キーワード：
マイクロLED,モノリシックLED
近年 AR/VR 用ディスプレイ開発は活況を呈している．GaInN系材料は,同一材料系でRGBが実現できることやトンネル接合の開発により積層型構造を用いることでモノリシック化や微細化が可能であることが期待される.本報告では,積層型GaInN系材料でRGBモノリシック型μLEDアレイを作製しRGBの発光を得たので報告する.