[23a-B202-1~10] 1.5 Instrumentation, measurement and Metrology

10:30 AM - 10:45 AM JST(1:30 AM - 1:45 AM UTC)

[23a-B202-5] Measurement of Trace Moisture in N₂ Using a Moisture Analyzer Based on Rapid-scan Cavity Ring-down Spectroscopy

〇MINAMI AMANO¹, Norihiko Nishizawa², Hideki Tomita², Abe Hisashi¹ (1.NMIJ/AIST, 2.Nagoya Univ.)

Keywords:

humidity,cavity ring-down,trace moisture

半導体デバイスの製造工程では、超高純度材料ガス中に残留する微量な水分を高感度・高速測定できる微量水分計が求められている。本研究では、レーザの駆動電流を素早く変化させて周波数を掃引する「高速スキャンCRDS微量水分計」を開発している。スキャン速度変化させ、水分濃度の測定精度や測定時間に与える影響について調べた。測定値の不確かさ評価、一次標準との比較、最適なスキャン速度や積算回数の検討について述べる。