講演情報
[23a-B202-5]高速スキャンCRDS微量水分計を用いた窒素中微量水分の測定
〇天野 みなみ1、西澤 典彦2、富田 英生2、阿部 恒1 (1.産総研、2.名大工)
キーワード：
湿度,キャビティリングダウン,微量水分
半導体デバイスの製造工程では、超高純度材料ガス中に残留する微量な水分を高感度・高速測定できる微量水分計が求められている。本研究では、レーザの駆動電流を素早く変化させて周波数を掃引する「高速スキャンCRDS微量水分計」を開発している。スキャン速度変化させ、水分濃度の測定精度や測定時間に与える影響について調べた。測定値の不確かさ評価、一次標準との比較、最適なスキャン速度や積算回数の検討について述べる。