[16a-B1-1~11] 13.4 Si processing /Si based thin film / MEMS / Equipment technology

10:15 AM - 10:30 AM JST(1:15 AM - 1:30 AM UTC)

[16a-B1-6] Surface treatment of columnar structures by hydrogen annealing using Minimal Fab

〇Kengo Hamada^1,2, Ying Huang⁴, Noriko Sato⁴, Takashi Chiba^1,2, Masao Terada^1,2, Kazushige Sato^1,2, Yoshiaki Kanamori⁴, Shiro Hara^2,3 (1.SAKAGUCHI ELECTRIC HEATERS, 2.MINIMAL, 3.AIST, 4.Tohoku University)

Keywords:

Minimal Fab,Laser Heating

レーザ加熱による水素アニール装置の開発を進めている。これまで平面的な構造に対して表面平滑化を行うことができた。今回、立体的な構造に対してレーザ加熱による水素アニールを実施したので結果を報告する。