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[16p-A22-18]Confirmation of avalanche brakdown in a vertical PND structure with GaN/AlGaN/GaN double heterostructure

〇Eito Kokubo1, Hirotaka Watanabe2, Manato Deki3, Atsushi Tanaka2, Shugo Nitta2, Yoshio Honda2,3,4, Hiroshi Amano2,3,4 (1.Nagoya Univ., 2.IMaSS Nagoya Univ., 3.D center Nagoya Univ., 4.IAR Nagoya Univ.)

Keywords:

GaN,Double heterostructure,Avalanche breakdown

GaN/AlGaN/GaNダブルヘテロ構造を備えた縦型ダイオードを作製し,その電気特性について調べた.逆方向電流電圧特性を測定した結果,ダイオードの絶縁破壊電圧は約170 Vで複数回測定しても変化しなかった.絶縁破壊電圧は温度に対して線形に上昇しており,その温度係数はα=2.6x10-4 K-1であった.この結果から作製したダイオードの絶縁破壊機構がアバランシェ降伏であることが示された.

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