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[16p-A22-20]Temperature Dependence of Drift Velocity of 2DEG in AlGaN/GaN Heterostructure

〇Yusuke Wakamoto1, Takahiko Kawahara2, Shigeki Yoshida2, Kozo Makiyama2, Ken Nakata2, Takuya Maeda1 (1.UTokyo, 2.Sumitomo Electric Industries, Ltd)
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Keywords:

drift velocity,temperature dependence,GaN

本研究では,AlGaN/GaNヘテロ接合に誘起される二次元電子ガスのドリフト速度の温度依存性を評価した.再成長n+-GaN コンタクト層を形成したTLMパターンを形成し, 25 Kから573 Kの温度範囲においてパルス電流-電圧測定を行うことで温度ごとの速度-電界特性を得た.高電界下におけるドリフト速度は,低温領域では一定であるが高温になるにつれてわずかな割合で減少することが分かった.

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