[16p-A23-1~6] Single crystal thin films epitaxially grown on silicon substrates and their device applications

4:15 PM - 4:45 PM JST(7:15 AM - 7:45 AM UTC)

[16p-A23-6] Piezoelectric epitaxial thin films for BAW filter applications

〇Takahiko Yanagitani^1,2,3,4 (1.Waseda University, 2.ZAIKEN, 3.JST-CREST, 4.JST-FOREST)

Keywords:

BAW filters,Piezoelectric thin films,Epitaxial films

本研究では、エピタキシャル圧電薄膜のBAWフィルタ応用における最新動向について紹介するとともに、スパッタ法を用いたオフ角基板上へのc軸傾斜LiNbO₃、PbTiO₃、MgZnOエピタキシャル成長と音響共振子の特性について議論する。