[17a-B1-1~7] 13.4 Si processing /Si based thin film / MEMS / Equipment technology

10:15 AM - 10:30 AM JST(1:15 AM - 1:30 AM UTC)

[17a-B1-5] Investigation of Factors that Degrade the Sensitivity of three-axes Piezo-resistive Accelerometer in Minimal-Fab Process

〇Hiroshige Kogayu¹, Ryuhei Sekifuji¹, Hiroyuki Tanaka², Fumito Imura³, Takashi Yajima¹, Shiro Hara^1,2,3 (1.MINIMAL, 2.AIST, 3.Hundred)

Keywords:

MINIMAL,MEMS,sensitivity

ピエゾ抵抗型３軸加速度センサについて90度回転対称のx軸/y軸方向で同等の感度が得られないという課題に対し、抵抗が配置された梁を形成するウェハ表と裏のパターンを意図的にずらした設計を行ない試作して、表と裏のズレ量と感度の関係の定量化を試みた。評価は市販の加速度評価システムを用いず、振動スピーカーで自作したセットアップで行なった。パターンのズレ量が大きくなるに従い感度が低下する傾向が確認できた。