[17a-B1-1~7] 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・MEMS・装置技術

10:15 〜 10:30

[17a-B1-5] ミニマルファブを用いた３軸ピエゾ抵抗型加速度センサの感度低下要因についての検討

〇小粥 敬成¹、関藤 竜平¹、田中 宏幸²、居村 史人³、谷島 孝¹、原 史朗^1,2,3 (1.ミニマルファブ、2.産総研、3.Hundred)

キーワード：

ミニマル、MEMS、感度

ピエゾ抵抗型３軸加速度センサについて90度回転対称のx軸/y軸方向で同等の感度が得られないという課題に対し、抵抗が配置された梁を形成するウェハ表と裏のパターンを意図的にずらした設計を行ない試作して、表と裏のズレ量と感度の関係の定量化を試みた。評価は市販の加速度評価システムを用いず、振動スピーカーで自作したセットアップで行なった。パターンのズレ量が大きくなるに従い感度が低下する傾向が確認できた。