[17a-P01-1~66] 17 Nanocarbon and Two-Dimensional Materials (Poster)

[17a-P01-19] Development of pixel separation process for bolometric CNT infrared detectors

〇Norika Fukuda¹, Tomo Tanaka^1,2, Noriyuki Tonouchi^1,2, Megumi Kanaori¹, Ryota Yuge^1,2 (1.AIST, 2.NEC)

Keywords:

Carbon nanotube

我々は、カーボンナノチューブネットワークをチャネルとするThin Film Transistor (TFT)の大きな抵抗温度係数に着目し、ボロメータ型赤外線イメージセンサへの応用、集積化のためのプロセス開発を行っている。上層保護膜をディスペンサーで形成したTFTと、スピンコート法、レジストパターニング及びエッチングで形成したTFTの電気特性を比較し、素子分離プロセスの開発が重要であることを明らかにした。