[17a-P01-1~66] 17 ナノカーボン・二次元材料（ポスター）

[17a-P01-19] ボロメータ型CNT赤外線検出器の素子分離プロセス開発

〇福田 紀香¹、田中 朋^1,2、殿内 規之^1,2、金折 恵¹、弓削 亮太^1,2 (1.産総研、2.日本電気)

キーワード：

カーボンナノチューブ

我々は、カーボンナノチューブネットワークをチャネルとするThin Film Transistor (TFT)の大きな抵抗温度係数に着目し、ボロメータ型赤外線イメージセンサへの応用、集積化のためのプロセス開発を行っている。上層保護膜をディスペンサーで形成したTFTと、スピンコート法、レジストパターニング及びエッチングで形成したTFTの電気特性を比較し、素子分離プロセスの開発が重要であることを明らかにした。