[17p-C302-1~9] Materials for Green & Sustainable Semiconductor Manufacturing

3:50 PM - 4:20 PM JST(6:50 AM - 7:20 AM UTC)

[17p-C302-6] Estimation of CO₂ Emissions Factor of materials for Green Semiconductor Manufacturing

〇Takehiro Yamaki¹, Thuy Nguyen¹, Sho Kataoka¹ (1.AIST)

Keywords:

semiconductor manufacturing,CO2 emission factor,Process simulation

半導体製造のグリーン化の機運が高まっており、半導体製造に係るCO₂排出量の見える化が進められている。CO₂排出量を評価する際にはCO₂排出原単位が必要となるが、薬液やガスのCO₂排出原単位の多くは化学グレードの値であり、半導体グレードのCO₂排出原単位はほとんどない。本講演では、プロセスシミュレーションを活用した半導体製造に用いられる薬液・ガスのCO₂排出原単位の評価について発表する。