[17p-C302-1~9] グリーン・サスティナブル半導体製造に貢献する材料

15:50 〜 16:20

[17p-C302-6] グリーン半導体製造に向けた材料のCO₂排出原単位の評価

〇山木 雄大¹、Nguyen Thuy¹、片岡 祥¹ (1.産総研)

キーワード：

半導体製造、CO2排出係数、プロセスシミュレーション

半導体製造のグリーン化の機運が高まっており、半導体製造に係るCO₂排出量の見える化が進められている。CO₂排出量を評価する際にはCO₂排出原単位が必要となるが、薬液やガスのCO₂排出原単位の多くは化学グレードの値であり、半導体グレードのCO₂排出原単位はほとんどない。本講演では、プロセスシミュレーションを活用した半導体製造に用いられる薬液・ガスのCO₂排出原単位の評価について発表する。