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[17p-C42-10]Hetero-interface formation technology with high Al content difference for improving injection efficiency of AlGaN-based UV-B LDs

〇Takumu Saito1, Rintaro Miyake1, Ryoya Yamada1, Yoshinori Imoto1, Shundai Maruyama1, Yusuke Sasaki1, Shogo Karino1, Sho Iwayama1, Hideto Miyake2, Tetsuya Takeuchi1, Motoaki Iwaya1 (1.Meijo Univ., 2.Mie Univ.)

Keywords:

nitride,UV LD,metal organic vapor phase epitaxy

我々は、AlGaN系UV-Bレーザーダイオード(LD)の室温パルス発振に成功し、ピーク光出力150mWを達成した。しかし、このLDのキャリア注入効率(ηi)はわずか10%であり、GaInN、AlGaInP、AlGaInAsなどの他の半導体材料を用いたLDに比べて著しく低い。さらなる光出力向上に向けてηi改善が重要な課題である。本研究では、デバイスシミュレータSiLENSeを用いたLD層構造の設計とMOVPE成長条件の最適化について検討を行った。

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