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[18a-A24-2]Fabrication of epitaxial Mg3Sb2 thin films on Si(001) substrates by codeposition

〇Nozomu Kiridoshi1, Akito Ayukawa1, Wakaba Yamamoto2, Akira Yasuhara2, Kohei Satou2, Haruhiko Udono1, Shunya Sakane1 (1.Ibaraki Univ., 2.JEOL)

Keywords:

Epitaxy,Mg3Sb2,Zintl phase

我々の研究グループは、サファイア基板上に極薄い遷移層で歪みが緩和したc面配向エピタキシャルMg3Sb2薄膜を作製し、これまで報告されてきた熱電性能を上回る性能を得たことを報告した。
歪み緩和がMg3Sb2薄膜の結晶構造に起因するものであれば、エピタキシャル成長において様々な基板の選択が可能であると考えられる。本研究では、Si(001)基板上にエピタキシャルMg3Sb2薄膜を作製することを目的とした。本講演では、薄膜の形成メカニズムと結晶性について議論を行う。

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