[18a-A31-1~11] 8.2 Plasma deposition of thin film, plasma etching and surface treatment

11:15 AM - 11:30 AM JST(2:15 AM - 2:30 AM UTC)Presentation by Applicant for JSAP Young Scientists Presentation Award

[18a-A31-9] Development of composites with metal-class thermal conductivity and elastomer-class flexibility using plasma surface modification and electric field orientation

〇(M2)Rui Hasegawa^1,2, Kenichi Inoue^1,2, Hitoshi Muneoka¹, Tsuyohito Ito¹, Kazuhiro Kirihara², Yoshiki Shimizu², Yukiya Hakuta², Kohzo Ito¹, Kazuo Terashima^1,2 (1.The Univ. of Tokyo, 2.AIST-UTokyo OPERANDO-OIL)

Keywords:

plasma in liquid,electric field orientation,composite material

近年、電子部品の高性能化や発熱量の増加により、柔軟で高熱伝導性を持つ材料の需要が増しているが、従来の材料は熱伝導性と機械特性の両立が難しいため、新しい材料の開発が求められている。ポリロタキサンと六方晶窒化ホウ素を用いて複合材料を作製し、さらに窒化ホウ素に対して液中プラズマ表面改質と電界印加による配向制御を行うことで、エラストマークラスの柔軟性と金属クラスの熱伝導性を併せ持つ材料が開発された。