[18a-B3-1~6] 6.1 Ferroelectric thin films

11:00 AM - 11:15 AM JST(2:00 AM - 2:15 AM UTC)

[18a-B3-3] Investigation of low-temp. epitaxial growth of Ce,Mn substituted ZnO thin films
and electrical characterization

〇Moe Sakaguchi¹, Hiroya Oiso¹, Norifumi Fujimura¹, Takeshi Yoshimura¹ (1.Osaka Metro. Univ.)

Keywords:

ZnO,Epitaxial growth,Ce,Mn

酸化亜鉛（ZnO）はc軸方向に自発分極を持つ圧電体であり、センサなどへの応用が検討されている。Ce,Mn共置換による強誘電性の発現が知られているが、圧電性の向上は報告されていない。また、デバイス応用の観点からはSi基板上に薄膜を低温成長させることが望ましいが、電極上のZnOエピタキシャル成長は、製膜温度400℃未満では報告されていない。本研究では、Si上エピタキシャル電極基板を用いて(Ce,Mn)置換ZnOの低温成長について検討した。