[18p-A22-1~21] 21.1 Joint Session K "Wide bandgap oxide semiconductor materials and devices"

3:45 PM - 4:00 PM JST(6:45 AM - 7:00 AM UTC)Presentation by Applicant for JSAP Young Scientists Presentation Award

[18p-A22-8] Growth of Rocksalt-structured MgZnO/MgO Double Hetero and Superlattice Structures by Mist CVD Method

〇Kotaro Ogawa¹, Hiroyuki Aichi¹, Toshiki Mitomi¹, Kyosuke Tanaka¹, Tomohiro Yamaguchi¹, Tohru Honda¹, Takeyoshi Onuma¹ (1.Kogakuin Univ.)

Keywords:

MgZnO,Mist CVD,Ultrawide Bandgap Semiconductor

岩塩構造酸化マグネシウム亜鉛(RS-Mg_xZn_1-xO)は、バンドギャップ7.7 eVのMgOを起点としたバンドギャップ変調が可能であることから、深紫外線及び真空紫外線領域における発光材料として期待される。本発表では、RS-MgZnOを応用したELデバイス開発への展開を見据え、原料を交互に供給するミストCVDシステムを構築し、RS-Mg_xZn_1-xO/MgOダブルヘテロ及び超格子構造を製作した内容について報告する。