[18p-B3-1~12] CS.7 Code-sharing Session of 6.1 & 13.3 & 13.5

4:00 PM - 4:15 PM JST(7:00 AM - 7:15 AM UTC)

[18p-B3-12] Diffusion of oxygen in amorphous HfO₂

〇(M2)Yuna Motozu¹, Ryusuke Nakamura¹, Takeyuki Suzuki² (1.Univ. of Shiga Pref., 2.SANKEN Osaka Univ.)

Keywords:

HfO2,amorphous,diffusion

高周波スパッタリング法により基板上に一様なアモルファスHfO₂（a-HfO₂）薄膜を作製し，二次イオン質量分析法（SIMS）により質量数18の安定同位体酸素の長距離拡散プロファイルを測定して，酸素の拡散係数を決定した．300 °C ~ 500 °Cにおけるa-HfO₂の酸素の拡散係数は，HfO₂の安定相のひとつである単斜晶よりも4 ~ 5 桁小さい値となった．