[18p-C41-1~8] Interdisciplinary Expansion of Interfacial Nano-Electrochemistry -From Advanced Semiconductors to Biosciences-

4:30 PM - 4:45 PM JST(7:30 AM - 7:45 AM UTC)

[18p-C41-7] Analysis of Induction Charging Mechanism of Deionized Water Spray

〇Ittetsu Watanabe¹, Kousei Ito¹, Tatsuo Mori¹, Yusuke Ichino¹, Noriyuki Taoka¹, Yoshiyuki Seike¹ (1.Aichi Inst. Tech .)

Keywords:

electrostatic discharge,two-fluid spray,semiconductor

半導体洗浄プロセスでは、純水の比抵抗値が高いため静電気障害（ESD）が発生する問題がある。我々は二流体ノズル先端に強電界を印加し、純水液滴の帯電量を制御できることを確認したが、誘導帯電メカニズムは明らかにしていない。本報告では、ノズル先端に強電界を印加し、接地した純水に流れる電荷量を測定した。PFAチューブの長さで発生電流が変わり、0.1 mと50 mで135 nAの差が生じた。