[19a-B5-1~9] 15.5 Group IV crystals and alloys

9:30 AM - 9:45 AM JST(12:30 AM - 12:45 AM UTC)

[19a-B5-1] [The 56th Young Scientist Presentation Award Speech] Consideration on atomic position of SiGe by spatial correlation model

〇Ryo Yokogawa^1,2, Yuta Ito¹, Yuiha Maeda¹, Yasutomo Arai³, Ichiro Yonenaga⁴, Atsushi Ogura^1,2 (1.Meiji Univ., 2.MREL, 3.JAXA, 4.Tohoku Univ.)

Keywords:

SiGe,Raman spectroscopy,Phonon

ラマン分光法はSiGe薄膜やデバイス評価に幅広く用いられている。SiGeラマンスペクトルは、組成によってラマンシフトが変化し、同時に低エネルギー側に原子配列や微細構造を反映した非対称ブロードニングが生じる。本講演ではSiGeフォノン分散曲線と空間相関モデルを組み合わせることで、SiGeのラマンスペクトルの非対称ブロードニングを精度よく再現し、SiGe内の原子配列を詳細に解析したので報告する。