[19a-B5-1~9] 15.5 IV族結晶，IV-IV族混晶

9:30 〜 9:45

[19a-B5-1] [第56回講演奨励賞受賞記念講演] 空間相関モデルを用いたSiGe内の原子配列に関する考察

〇横川 凌^1,2、伊藤 佑太¹、前田 唯葉¹、荒井 康智³、米永 一郎⁴、小椋 厚志^1,2 (1.明治大理工、2.明治大MREL、3.JAXA、4.東北大)

キーワード：

SiGe、ラマン分光法、フォノン

ラマン分光法はSiGe薄膜やデバイス評価に幅広く用いられている。SiGeラマンスペクトルは、組成によってラマンシフトが変化し、同時に低エネルギー側に原子配列や微細構造を反映した非対称ブロードニングが生じる。本講演ではSiGeフォノン分散曲線と空間相関モデルを組み合わせることで、SiGeのラマンスペクトルの非対称ブロードニングを精度よく再現し、SiGe内の原子配列を詳細に解析したので報告する。