[19p-B3-1~22] 6.2 Carbon-based thin films

4:15 PM - 4:30 PM JST(7:15 AM - 7:30 AM UTC)

[19p-B3-13] Evaluation of the effect of surface states on Be diffusion in diamond thin films

〇Yasuto Miyake¹, Hiroki Okuno¹, Hideyuki Watanabe^1,2 (1.RIKEN RNC, 2.AIST)

Keywords:

diamond,nuclear transmutation,thermal diffusion

本研究では、放射性同位体⁷Beの⁷Liへの核種変換反応による⁷Liドープダイヤモンドの製作を目指して、Beのダイヤモンド基板表層へのイオン注入とRTA処理によるBeの熱拡散を調査してきた。本発表では、基板表層の影響を除去してBeの熱拡散を評価するため、ダイヤモンド深部までのイオン注入を行い、表層と深部へのイオン注入結果の比較により、Beの拡散に対する表層の状態の影響を評価することを目的とする。