[19p-B3-1~22] 6.2 カーボン系薄膜

16:15 〜 16:30

[19p-B3-13] ダイヤモンド薄膜中のBeの拡散に対する表層状態の影響の評価

〇三宅 泰斗¹、奥野 広樹¹、渡邊 幸志^1,2 (1.理研仁科センター、2.産総研)

キーワード：

ダイヤモンド、核種変換、熱拡散

本研究では、放射性同位体⁷Beの⁷Liへの核種変換反応による⁷Liドープダイヤモンドの製作を目指して、Beのダイヤモンド基板表層へのイオン注入とRTA処理によるBeの熱拡散を調査してきた。本発表では、基板表層の影響を除去してBeの熱拡散を評価するため、ダイヤモンド深部までのイオン注入を行い、表層と深部へのイオン注入結果の比較により、Beの拡散に対する表層の状態の影響を評価することを目的とする。