[19p-B3-1~22] 6.2 Carbon-based thin films

4:45 PM - 5:00 PM JST(7:45 AM - 8:00 AM UTC)

[19p-B3-14] Formation of one dimensional nanopit structures on atomically flat surfaces
of diamond (111) by nickel nanoparticles

〇Kan Hayashi^1,2, Kazuki Kobayashi¹, Madoka Katayama¹, Yuhi Kaneko¹, Kimiyoshi Ichikawa², Taro Yoshikawa^2,3, Tsubasa Matsumoto^1,2, Takao Inokuma¹, Satoshi Yamasaki², Norio Tokuda^1,2 (1.Kanazawa Univ., 2.Kanazawa Univ. NanoMari., 3.Daicel Corp.)

Keywords:

diamond,surface nanofabrication,solid-solution reaction

ダイヤモンドのデバイス応用のためには微細加工技術が重要となる。しかしダイヤモンドは化学的に非常に安定な物質であるため加工が困難であり、さらなる発展のためにはダメージフリーなナノエッチング技術の開発が必要である。本研究ではダメージフリープロセスとしてNiの炭素固溶反応に着目し、原子的平坦ダイヤモンド(111)表面上Ni ナノ粒子の、炭素固溶反応によるナノスケールでのエッチング挙動の調査を行った。