[19p-B3-1~22] 6.2 カーボン系薄膜

16:45 〜 17:00

[19p-B3-14] Niナノ粒子を用いた原子的平坦ダイヤモンド上1次元ナノピット生成

〇林 寛^1,2、小林 和樹¹、片山 まどか¹、金子 雄飛¹、市川 公善²、吉川 太朗^2,3、松本 翼^1,2、猪熊 孝夫¹、山崎 聡²、徳田 規夫^1,2 (1.金沢大、2.金大ナノマリ、3.(株)ダイセル)

キーワード：

ダイヤモンド、表面微細加工、炭素固溶反応

ダイヤモンドのデバイス応用のためには微細加工技術が重要となる。しかしダイヤモンドは化学的に非常に安定な物質であるため加工が困難であり、さらなる発展のためにはダメージフリーなナノエッチング技術の開発が必要である。本研究ではダメージフリープロセスとしてNiの炭素固溶反応に着目し、原子的平坦ダイヤモンド(111)表面上Ni ナノ粒子の、炭素固溶反応によるナノスケールでのエッチング挙動の調査を行った。