[19p-B3-1~22] 6.2 Carbon-based thin films

2:00 PM - 2:15 PM JST(5:00 AM - 5:15 AM UTC)Presentation by Applicant for JSAP Young Scientists Presentation Award

[19p-B3-5] Structural change of hydrogenated amorphous carbon films by laser joining

〇Karyu Hase¹, Sarayut Tunmee², Yuko Aono¹, Ukit Rittihong², Yuki Hirata¹, Naoto Ohtake¹, Hiroki Akasaka¹ (1.Tokyo Inst. Tech, 2.SLRI, Thailand)

Keywords:

Amorphous Carbon Films

本研究は，Siおよびガラス上にC2H2からパルスプラズマ化学気相成長法により水素化アモルファス炭素膜を作製し，レーザ接合した．接合領域近傍の炭素結合状態を，吸収炭近傍X線吸収微細構造およびX線電子顕微鏡で評価した．