講演情報
[19p-B3-5]レーザ接合による水素化アモルファス炭素膜の構造変化
〇長谷 嘉琉1、Tunmee Sarayut2、青野 祐子1、Rittihong Ukit2、平田 祐樹1、大竹 尚登1、赤坂 大樹1 (1.東工大、2.タイ放射光研究所)
キーワード：
アモルファス炭素膜
本研究は，Siおよびガラス上にC2H2からパルスプラズマ化学気相成長法により水素化アモルファス炭素膜を作製し，レーザ接合した．接合領域近傍の炭素結合状態を，吸収炭近傍X線吸収微細構造およびX線電子顕微鏡で評価した．
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