Presentation Information
[19p-C42-11]Internal quantum efficiency mapping measurements of highly pure GaN crystals
〇Koshi Sano1, Hajime Fujikura2, Taichiro Konno2, Shota Kaneki2, Shuhei Ichikawa1, Kazunobu Kojima1 (1.Osaka Univ., 2.Sumitomo Chemical Co. Ltd.)
Keywords:
GaN,internal quantum efficiency,carbon impurity
GaN系デバイスの実現にむけて、GaN結晶中の点欠陥(不純物や空孔など)の削減・定量は極めて重要である。我々はこれまでに、炭素不純物濃度と内部量子効率(IQE)の強い相関を示してきた。今回は石英フリーハライド気相成長法によって成長させた高純度GaN結晶に対してIQEマッピング測定を行った結果について報告する。
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