[19p-P02-1~13] 8.1 Plasma production and diagnostics

[19p-P02-8] Optical emission spectroscopic measurement of hydrogen atoms produced in a locally inductively coupled atom source

〇Ryuki Otsuki¹, Yuya Inokuchi¹, Motoi Wada¹, Toshiro Kasuya¹ (1.Doshisha Univ)

Keywords:

Emission spectroscopy,Doppler shift

本研究で使用したECRプラズマ源は永久磁石によってECR磁場を形成し，外径6mm，内径4mmの石英管にアンテナとして銅リボンを巻きつけている．アンテナから2.45 GHzのマイクロ波電力を供給することでプラズマを生成・維持している．入力電力を30Wから150Wとして水素原子のHアルファの発光分光スペクトルを取得した．プラズマ源で生成される水素原子の速度を，分光器を用いてバルマー系列発光スペクトルのドップラーシフトから測定し，評価する．