[19p-P02-1~13] 8.1 プラズマ生成・診断

[19p-P02-8] 局所誘導結合型原子源で生成される水素原子の発光分光測定

〇大槻 龍騎¹、井ノ口 雄矢¹、和田 元¹、粕谷 俊郎¹ (1.同志社大)

キーワード：

発光分光、ドップラーシフト

本研究で使用したECRプラズマ源は永久磁石によってECR磁場を形成し，外径6mm，内径4mmの石英管にアンテナとして銅リボンを巻きつけている．アンテナから2.45 GHzのマイクロ波電力を供給することでプラズマを生成・維持している．入力電力を30Wから150Wとして水素原子のHアルファの発光分光スペクトルを取得した．プラズマ源で生成される水素原子の速度を，分光器を用いてバルマー系列発光スペクトルのドップラーシフトから測定し，評価する．