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[20a-A24-5]Evaluation of neutron detection characteristics of BGaN detectors grown on Si and QST substrate by using long wavelength neutron

〇Kosuke Ando1, Shun Nishikawa1, Tatsuhiro Sakurai1, Seiya Kawasaki2, Masahiro Hino4, Yoshio Honda5, Hiroshi Amano5, Kota Matsumoto6, Norikazu Ito6, Taketoshi Tanaka6, Ken Nakahara6, Yoku Inoue1, Toru Aoki3, Takayuki Nakano1,3 (1.Shizuoka Univ., 2.Nagoya Univ., 3.R.I.E., 4.KURNS, 5.IMaSS Nagoya Univ., 6.ROHM Co., Ltd.)

Keywords:

neutron detection semiconductor,BGaN,QST substrate

BGaNは大きな中性子捕獲断面積を持つB原子を含むことから、新規中性子検出半導体として提案され開発が行われている。これまでの研究では、作製が容易であるが大口径化が難しいAl2O3基板上にBGaNデバイスを作製し、中性子検出特性評価を実施していた。本研究では大口径化に着目し、大口径化が容易なSi, QST基板上にBGaNデバイスを作製した。詳細な中性子検出特性を評価するため、MINE-1(JRR-3)にて長波長中性子を用いて中性子検出特性評価を実施した。

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