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10:30 AM - 10:45 AM JST(1:30 AM - 1:45 AM UTC)

[22a-12G-6][The 55th Young Scientist Presentation Award Speech] Diagnostics of Ion Sheath on an AC-Biased Metal Plate Using Time-Resolved Laser-Induced Fluorescence Spectroscopy (Ⅱ)

〇Ryosuke Takahashi¹, Seiya Kito¹, Koji Eriguchi¹, Keiichiro Urabe¹ (1.Kyoto Univ.)

Keywords:

plasma diagnostics,laser-induced fluorescence spectroscopy,ion sheath dynamics

低温プラズマプロセスでは，交流バイアスによる被プロセス材料へのイオン照射エネルギー制御が重要である．我々は，イオン挙動制御の高精度化には交流バイアス周期内のイオン速度分布（IVDF）変化を捉える必要があると考え，レーザー誘起蛍光（LIF）法を用いた時間分解計測に取り組んできた．本発表では，100 kHz程度の交流電圧を金属板に印加した場合における時間分解LIF計測結果を報告し，シースダイナミクスに関する考察を行う．

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